- 热氧化工艺及生长原理讨论2008/6/5 0:00:00 2008/6/5 0:00:00
- 课程内容: 1 热氧化工艺 1.1 实际热氧化工艺选择 1.1.1 对热氧化工艺的要求 1.1.2 实际热氧化工艺 1.2 ...[全文]
- 常见的氧化方法及原理2008/6/5 0:00:00 2008/6/5 0:00:00
- 课程内容: 1 热生长氧化法 1.1 热生长氧化方法 1.1.1 干氧氧化法 ...[全文]
- 有关外延层层错2008/6/5 0:00:00 2008/6/5 0:00:00
- 课程内容: 1 外延层层错 1.1 外延层层错的形成模式 1.2 外延层层错的结构 1.3 外延层层错的腐蚀形貌 1.3.1 外延层层错是面...[全文]
- 外延层质量参数及检测简介2008/6/5 0:00:00 2008/6/5 0:00:00
- 课程内容: 1 外延层质量参数 1.1 外延层电阻率ρepi 1.2 外延层的杂质浓度分布 ...[全文]
- 外延辅助工艺2008/6/5 0:00:00 2008/6/5 0:00:00
- 课程内容: 1 氯化氢抛光工艺 1.1 抛光目的 1.2 氯化氢抛光工艺 1.2.1氯化氢抛光方法 1.2.2 氯化氢抛光步骤 1.3 ...[全文]
- 四氯化硅氢气还原法外延原理2008/6/5 0:00:00 2008/6/5 0:00:00
- §2.2.1 四氯化硅的氢气还原法外延生长过程 1 化学原理 1.1 四氯化硅的氢气还原机理 1.1.1 为吸热反应 1.1.2 伴有有害副反...[全文]
- 晶圆生产良率的制约因素-工艺制程步骤的数量2008/6/5 0:00:00 2008/6/5 0:00:00
- 从图6.2中看出,要得到85.9%的cum晶圆生产良率,每个单一制程站良率必须高于90%.图所示只是一个非常简单的11步工艺流程.ulsi电路需要50~100个主要工艺...[全文]
- 晶圆生产良率的制约因素2008/6/5 0:00:00 2008/6/5 0:00:00
- 晶圆生产良率受到多方面的制约.下面列出了5个制约良率的基本因素,任何晶圆生产厂都会对他们进行严格的控制.这5个基本因素的共同作用决定了一个工厂的综合良率. 1.工艺...[全文]
- 累积晶圆生产良品率2008/6/5 0:00:00 2008/6/5 0:00:00
- 在晶圆完成所有的生产工艺后,第一个主要良品率被计算出来了。对此良品率有多种不同的叫法,如fab良率(fab yield)、生产线良率、累积晶圆厂良率或cum良率。 ...[全文]
- 工艺良品率测量点2008/6/5 0:00:00 2008/6/5 0:00:00
- 维持及提高良品率(yield)对半导体工业至关重要。任何对半导体工业做过些许了解的人都会发现,整个工业对其生产良率及其关注。的确如此,半导体制造工艺的复杂性,以及生产...[全文]
- 工艺良品率概述2008/6/5 0:00:00 2008/6/5 0:00:00
- 概述 高水平的工艺良品率是生产性能可靠的芯片并获得收益的关键所在。本章将结合影响良品率的主要工艺及材料要素对主要的良品率测量点做出阐述。对于不同电路规模和良品率测量点...[全文]
- 芯片制造污染控制关键概念及术语2008/6/5 0:00:00 2008/6/5 0:00:00
- 浮质 可移动的离子污染物 风淋 ...[全文]
- `default_nettype2008/6/5 0:00:00 2008/6/5 0:00:00
- 该指令用于为隐式线网指定线网类型。也就是将那些没有被说明的连线定义线网类型。`default_nettype wand 该实例定义的缺省的线网为线与类型。因此,如果在此指令...[全文]
- `ifdef、`else 和`endif2008/6/5 0:00:00 2008/6/5 0:00:00
- 这些编译指令用于条件编译,如下所示:`ifdef windowsparameter word_size = 16`elseparameter word_size = 32`e...[全文]
- `define 和`undef2008/6/5 0:00:00 2008/6/5 0:00:00
- `define指令用于文本替换,它很像c语言中的#define 指令,如:`define max_bus_size 32. . . reg [ `max_bus_size ...[全文]
- Verilog HDL主要能力2008/6/5 0:00:00 2008/6/5 0:00:00
- 下面列出的是verilog硬件描述语言的主要能力:* 基本逻辑门,例如and、or和nand等都内置在语言中。* 用户定义原语(udp)创建的灵活性。用户定义的原语既可以是组...[全文]
- 六管单元TTL与非门2008/6/5 0:00:00 2008/6/5 0:00:00
- 内容:1 六管单元ttl与非门电路结构及工作原理 1.1 六管单元ttl与非门电路结构 1.2 六管单元ttl与非门电路工作原理 2 六管ttl与非门...[全文]