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外延层质量参数及检测简介

发布时间:2008/6/5 0:00:00 访问次数:229

课程内容：

1 外延层质量参数

1.1 外延层电阻率ρepi

1.2 外延层的杂质浓度分布

1.3 外延层厚度

1.4 少数载流子寿命

1.5 外延层中的缺陷

课程内容：

1 外延层质量参数

1.1 外延层电阻率ρepi

1.2 外延层的杂质浓度分布

1.3 外延层厚度

1.4 少数载流子寿命

1.5 外延层中的缺陷

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