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四氯化硅氢气还原法外延原理

发布时间:2008/6/5 0:00:00 访问次数:322

§2.2.1 四氯化硅的氢气还原法外延生长过程

1 化学原理

1.1 四氯化硅的氢气还原机理

1.1.1 为吸热反应

1.1.2 伴有有害副反应

1.1.3

§2.2.1 四氯化硅的氢气还原法外延生长过程

1 化学原理

1.1 四氯化硅的氢气还原机理

1.1.1 为吸热反应

1.1.2 伴有有害副反应

1.1.3

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