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芯片制造污染控制关键概念及术语

发布时间:2008/6/5 0:00:00 访问次数:243

浮质 可移动的离子污染物
风淋 微粒
前厅 工艺用气体
细菌 湿法工艺化学品
洁净室洁净等级 服务室
洁净室设计 温度,湿度,烟雾

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前厅 工艺用气体
细菌 湿法工艺化学品
洁净室洁净等级 服务室
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