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晶圆生产良率的制约因素

发布时间:2008/6/5 0:00:00 访问次数:357

晶圆生产良率受到多方面的制约.下面列出了5个制约良率的基本因素,任何晶圆生产厂都会对他们进行严格的控制.这5个基本因素的共同作用决定了一个工厂的综合良率.
1.工艺制程步骤的数量
2.晶圆破碎和弯曲
3.工艺制程变异
4.工艺制程缺陷
5.光刻掩模板缺陷



晶圆生产良率受到多方面的制约.下面列出了5个制约良率的基本因素,任何晶圆生产厂都会对他们进行严格的控制.这5个基本因素的共同作用决定了一个工厂的综合良率.
1.工艺制程步骤的数量
2.晶圆破碎和弯曲
3.工艺制程变异
4.工艺制程缺陷
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