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累积晶圆生产良品率

发布时间:2008/6/5 0:00:00 访问次数:724

在晶圆完成所有的生产工艺后,第一个主要良品率被计算出来了。对此良品率有多种不同的叫法,如fab良率(fab yield)、生产线良率、累积晶圆厂良率或cum良率。

晶圆厂cum良率用一个百分比来表示,可通过两种不同的计算方法得到。一种是用完成生产的晶圆总数除以总投入片数。这种简单的计算方法在实际上很少被使用。因为大部分的晶圆生产线同时生产多种不同类型的电路。不同类型的电路有不同的特征工艺尺寸和密度参数。一条晶圆生产线经常是生产一系列不同的产品,每一种产品都有其各自不同数量的工艺步骤和难度水平。在这种情况下,将会针对每一类产品计算一个合成良率。

一条晶圆生产线上会存在有大量制程中的晶圆,这些晶圆的生产周期从4~6周不等。一类或更多类产品在制程中的某些地方受阻滞留,这种情况并非罕见。完成制程的晶圆很少与投入的警员直接对应。因此只是简单地使用投入与产出的晶圆数很难反映每一种类型电路的真实良率。

要得到cum良率,需要首先计算各制程站良率(station yield),即以离开单一制程站的晶圆数进入此制程的晶圆数:

在晶圆完成所有的生产工艺后,第一个主要良品率被计算出来了。对此良品率有多种不同的叫法,如fab良率(fab yield)、生产线良率、累积晶圆厂良率或cum良率。

晶圆厂cum良率用一个百分比来表示,可通过两种不同的计算方法得到。一种是用完成生产的晶圆总数除以总投入片数。这种简单的计算方法在实际上很少被使用。因为大部分的晶圆生产线同时生产多种不同类型的电路。不同类型的电路有不同的特征工艺尺寸和密度参数。一条晶圆生产线经常是生产一系列不同的产品,每一种产品都有其各自不同数量的工艺步骤和难度水平。在这种情况下,将会针对每一类产品计算一个合成良率。

一条晶圆生产线上会存在有大量制程中的晶圆,这些晶圆的生产周期从4~6周不等。一类或更多类产品在制程中的某些地方受阻滞留,这种情况并非罕见。完成制程的晶圆很少与投入的警员直接对应。因此只是简单地使用投入与产出的晶圆数很难反映每一种类型电路的真实良率。

要得到cum良率,需要首先计算各制程站良率(station yield),即以离开单一制程站的晶圆数进入此制程的晶圆数:

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