外延工艺原理
发布时间:2008/6/5 0:00:00 访问次数:290
§2.1 外延技术概述 1.5学时
课程内容:
1 外延分类
1.1 由外延材料的名称不同分类
1.2 由外延层材料与衬底材料相同否分类
§2.1 外延技术概述 1.5学时
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1 外延分类
1.1 由外延材料的名称不同分类
1.2 由外延层材料与衬底材料相同否分类
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