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外延工艺原理

发布时间:2008/6/5 0:00:00 访问次数:290

§2.1 外延技术概述 1.5学时

课程内容:

1 外延分类

1.1 由外延材料的名称不同分类

1.2 由外延层材料与衬底材料相同否分类

1.2.1 同质外延

§2.1 外延技术概述 1.5学时

课程内容:

1 外延分类

1.1 由外延材料的名称不同分类

1.2 由外延层材料与衬底材料相同否分类

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