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扩散的一些效应分析2008/6/5 0:00:00
2008/6/5 0:00:00
扩散的过程有很多限制。扩散只能在wafer表面进行,限制了能制造的几何图案。杂质扩散不均衡,所以最终的diffusion没有稳定的掺杂特性。接下来的高温过程继续drive先前...[全文]
扩散相关知识介绍2008/6/5 0:00:00
2008/6/5 0:00:00
杂质原子穿越硅结构的热扩散方式和载流子扩散的方式非常相似(节1.1.3)。由于较重的杂质原子和晶体结构结合的更牢固,所以为了获得适当的扩散率需要800℃到1250℃的高温。一...[全文]
扩散和离子注入2008/6/5 0:00:00
2008/6/5 0:00:00
离散二极管和晶体管能在晶体生长的时候在硅ingot里形成结而生产出来。假设硅ingot开始的时候是p型晶体。经过短暂的生长后,通过加入控制量的磷melt被反向掺杂。继续的晶体...[全文]
硅的本地氧化(LOCOS)2008/6/5 0:00:00
2008/6/5 0:00:00
称为硅的本地氧化(locos)的技术能实现厚氧化层选择性生长。(8 “locus: a new i.c. technology,” microelectronics and ...[全文]
氧化物生长和去除的其他效应2008/6/5 0:00:00
2008/6/5 0:00:00
在典型的工艺处理顺序里,wafer要反复几次氧化和蚀刻才能得到masking层。这些多次的masked氧化使得硅表面非常不平坦。最终表面的不平整必须特别注意因为现代的精细的...[全文]
氧化物的去除2008/6/5 0:00:00
2008/6/5 0:00:00
图2.8说明了在氧化层上刻出图形的过程。第一步在wafer上生长一薄层氧化物。接下来,滴光刻胶到旋转的wafer上。用烘焙炉去除溶液并使光刻胶变硬。光刻曝光后,用溶液洗掉曝...[全文]
氧化物的生长和沉积2008/6/5 0:00:00
2008/6/5 0:00:00
生成氧化层最简单的方法是在有氧环境下加热硅wafer。如果用纯净的干氧气,最终的氧化膜叫做干氧化层。图2.7 是一种典型的氧化设备。wafer被装在叫做wafer 船的fu...[全文]
什么是Patterning?2008/6/5 0:00:00
2008/6/5 0:00:00
曝光过的wafer会用一种合适的developer喷射,通常都是有机溶液的混合液。developer会溶解部分resist而露出wafer的表面。沉积或蚀刻只影响这些暴露出...[全文]
光罩和Reticles相关知识2008/6/5 0:00:00
2008/6/5 0:00:00
现代光刻依靠的一种类似于放大照片底片的投影印刷。图2.6 是简化的曝光过程。透镜系统校准一个强uv光源,称为光罩的金属盘子会挡住光线。uv光穿过光罩中透明的部分和另外的透镜在...[全文]
光刻胶相关知识2008/6/5 0:00:00
2008/6/5 0:00:00
光刻开始于一种称作光刻胶的感光性液体的应用。图形能被映射到光刻胶上,然后用一个developer就能做出需要的模板图案。光刻胶溶液通常被旋转式滴入wafer。如图2.5所示,...[全文]
硅的晶体结构2008/6/5 0:00:00
2008/6/5 0:00:00
每片wafer是单个硅晶体的薄片。下面的水晶结构决定了打破时wafer是怎么裂开的。大多数晶体沿着原子间最薄弱的键cleavage plane裂开。比如,钻石晶体在被金属楔...[全文]
wafer的制造2008/6/5 0:00:00
2008/6/5 0:00:00
wafer的制造涉及到一系列的机械工艺。ingot两头的锥形末端会被切掉。剩下的就被磨成圆柱体,它的直径就决定了最后的wafers的尺寸。研磨后就没有看得见的晶体方向标志了...[全文]
半导体制造概述2008/6/5 0:00:00
2008/6/5 0:00:00
在电子学中半导体器件已经被使用很久了。在19世纪末期第一个固态整流器就被开发出来了。1907年发明的方铅矿晶体检波器被广泛的用来制作晶体收音机。到1947年,在充分理解半导...[全文]
半导体生产2008/6/5 0:00:00
2008/6/5 0:00:00
集成电路通常用硅制造,一种非常普遍且分布广泛的元素。石英矿就是一整块二氧化硅,或叫做silica。普通的沙子就是由小石英颗粒组成的,所以它主要也是silica。 尽管硅化...[全文]
晶体的生长2008/6/5 0:00:00
2008/6/5 0:00:00
晶体的生长原理非常简单和熟悉。假设在最终要蒸发的饱和溶液中加入一些糖晶体。糖晶体的作用是作为额外的糖分子沉积的种子。最后这个晶体能生长的非常大。晶体的生长即使在缺乏种子的情...[全文]
商业智能的概念2008/6/5 0:00:00
2008/6/5 0:00:00
商业业智能是什么?简而言之,它是能够帮助用户对自身业务经营做出正确明智决定的工具。一般现代化的业务操作,通常都会产生大量的数据,如订单、库存、交易帐目、通话记录、及客户资料等...[全文]
智能交通系统亮相日本2008/6/5 0:00:00
2008/6/5 0:00:00
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清华同方弱电系统解决方案2008/6/5 0:00:00
2008/6/5 0:00:00
【编者按】  综合布线系统的设计范围包括电话系统和计算机系统两部分。系统提供高速和高宽带的传输能力,能满足楼内信息传输的需要,尤其是数据系统的高速数据传输的要求...   一...[全文]
台车式智能仪表控制燃气热处理炉投入使用2008/6/5 0:00:00
2008/6/5 0:00:00
日前,具有国际先进水平的台车式智能仪表控制燃气热处理炉在大连重工·起重集团铸钢公司正式投入使用。专家称,该炉按工艺要求完成了对一件单重为45吨的大型气轮发电机缸体铸件的热处理...[全文]
智能温控器 为你节省燃气费2008/6/5 0:00:00
2008/6/5 0:00:00
燃气壁挂锅炉最大的优点是可以任意调节不同居室的温度,那么如何在方便使用的基础上让其做到省气省钱,这就与智能温度控制器有关系了。   在欧洲,温控器一般是壁挂炉的必配件,两者一...[全文]
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