多集束型装备调度的难点如下
发布时间:2017/11/26 14:44:50 访问次数:415
多集束型装备调度的难点如下。 A915BY-6R8M
(l)对于乃晶圆周期调度,虍取何值时能达到最大产能。由于乃=1时,易于被操作人员理解,也容易实现,因此在工业中应用广泛。然而,是否总是存在1晶圆周期调度使得产能最大?
(2)晶圆数应该取何值时系统的产能为最大,是否要控制进入系统的晶圆数量才能使调度最优?由于多个机械手在其中同步协调地传送晶圆,多集束型装备的调度十分复杂,并且成为近年来研究的热点。
多集束型装备调度的难点如下。 A915BY-6R8M
(l)对于乃晶圆周期调度,虍取何值时能达到最大产能。由于乃=1时,易于被操作人员理解,也容易实现,因此在工业中应用广泛。然而,是否总是存在1晶圆周期调度使得产能最大?
(2)晶圆数应该取何值时系统的产能为最大,是否要控制进入系统的晶圆数量才能使调度最优?由于多个机械手在其中同步协调地传送晶圆,多集束型装备的调度十分复杂,并且成为近年来研究的热点。
相关技术资料- 11-26多集束型装备调度的难点如下
- 相关IC型号
- A915BY-6R8M
- 暂无最新型号
热门点击
- 氮化硅湿法刻蚀
- 利用wafer map的颜色可以直观地表现所
- FIB的原理与SEM相似,
- 失去电子以后的施主杂质叫作电离施主
- 光刻胶形貌
- Al CMP的方法及使用的研磨液
- 集成电路制造中的污染和清洗技术
- HcI寿命模型
- 与传统的PVD相比较,ALPs主要有三个方面
- HKMG(高七介质层+金属栅极)整合工艺
推荐技术资料
- 循线机器人是机器人入门和
- 循线机器人是机器人入门和比赛最常用的控制方式，E48S... [详细]
公网安备44030402000607
