把一组w盯cr的数据按wafer,用成行、列的wafer map表示出来,这种方法就是wafermap gallery。 TC4S66F利用wafer map的颜色可以直观地表现所描述属性的大小、类别。透过wafcrmap ga11ery可以快速定位异常wafer以及了解所观测属性在wafer上的主要帘问分布特征。

   Stack map(∞mposite map)是把wafer map进行叠图,在叠图之后.一些较弱、较不明显的空问分布特征往往得到强化。

   图17.29左图是一个lot的binmap gallery,由此很容易发现艹9有明显的异常。当对 binmap进行叠图之后,可以非常清晰地看到这个lot有明显的reticle需要对mask及litho的相关I艺进行检查,查找问题根源。如果只对者single wafer进行检奄,很难发现类似问题。