FIB的原理与SEM相似,主要差别在于FIB使用离子束作为人射源,ΠB的外加电场作用于液态金属离子源, SD6271使液态金属或合金形成细小尖端,再加L负电场牵引尖端的技术或合金,导出离子束,通过静电透镜聚焦,经过一连串可变化孔径改变离子束大小,然后用质量分析器筛选出所要的离子种类,最后通过八极偏转装置及物镜将离子束聚焦在样品卜许扪 描.离子束轰击样品,产生二次电子和离子被收集作为影像的来源,或用物理碰撞来实现切割汀。而离子束比电子具有更大的电量及质量,当其人射到固态样品卜时会造成一连串的撞击及能量传递,且在样品表面发牛气化、离f化等现象,并溅出巾性原f、离子、及电磁波刊攵集离子束轰击样″:产生的二次电子和△次离f.获得聚焦离f束眼微图像，HB系统亦可视为利用静电透镜将离子束聚焦成非常小尺寸的显微切割仪器.离f束喷溅LJ有机气体协作则可完成导体沉积。双束「IB系统,在以离子束切割时.用电了束观察影像,除r可避免离f束继续Ⅱ破坏现场”外,尚可有效地提高影像分辨率。商川场发射双束聚焦离F束系统.如Dual bcam833.其扫捕电镜分辨率可达sFm。同时也叮配备、光能谱分析仪或(I工次离子质谱仪),作尢素分析之用,多样化的分析功能使得聚焦离子束私微镜的便利性及使用率大幅捉升。