以上定义考虑的是l晶圆生产周期,在生产过程中,多晶圆生产月期调度具有更高的产能,A915BY-150M同时也意味着调度更加复杂,以下介绍多晶圆生产周期相关的概念。定义1.4 晶圆加工是循环牛产过程,每次循环产生虍片类型相同的晶圆,机械手和加工活动再次回到初始状态,其机械手活动序列称为丹品圆周期序列(七Wafcr CycleScquencc),简称女序列,当丹=l时称为单序列。gT行的七序列必须满足:机械手不会对空的加工模块做卸载操作,不会对己有晶圆的模块做装载品圆操作。

   定义15 丹晶圆生产月期(佬wafcr Cr⒗△mc)是指完成庀晶圆机械手活动序列所需的时间,也称多晶圆生产周期或多度周期。七=1时,即为定义1.2的1晶圆生产周期。定义1,6 若存在常量z,使得对任意第次活动则称机械手运行在稳定状态。稳定状态表现为集束型装备执行l晶圆生产周期完毕的时刻恰好回到该周期开始执行时刻的状态,也表现为多集束型装备执行庀晶圆周期完毕的时刻恰好回到该周期开始执行时刻的状态。