集束型装备的运行属于一种批加工过程,一个批次晶圆是25片,加工完某种产品的一批后, A915BY-151M切换到另一种产品的加工。每次切换时,各加工模块都需要重新设置。在每批加I中都包含三个阶段:初始暂态阶段、稳态阶段、终止暂态阶段。假设在系统达到稳态后,装各中有刀片晶圆处于加工中,在加工一批晶圆开始时,装备内的加工模块和机械手都处于空闲状态,这个时刻是初始暂态阶段的开始。然后按照加I工艺要求,晶入装载室,逐步进入装备内加工。当系统中刀片晶圆处于加工状态时,初始暂态阶段结束,进入稳态。当系统中有刀片晶圆处于加工状态,而输入装载室中已经没有待加工晶圆时,稳态结束并进入终止暂态阶段。当所有晶圆加工完毕,终止暂态阶段结束,系统回到空闲状态。

    当机械手空闲时,可能有多于1个晶圆在等待机械手卸载并搬运,此时必须决定机械手即将搬运哪个晶圆,即为哪个加工模块服务,这种决策策略称为调度策略(Schcdu1ingPo1icy)。集束型装备在稳态阶段的运行可分以下两种类型。

   (1)加工受限类型(Proccss-bound)。机械手有空闲时间,集束型装备的生产周期由最长时间的工序决定。

   (2)搬运受限类型(Transport bound)。机械手一直处于繁忙状态,集束型装备的生产周期由机械手的活动时间所决定。