晶圆生产周期,即生产节拍,是指完成A915BY-101M晶圆生产过程所需的最短时间。1晶圆生产月期又称基本周期(Fundamcntal Period,FP)或简称生产周期。晶圆生产过程是指一个连续的机械手活动过程,在此期间恰好有1个晶圆从输入装载室进入及有1个晶圆通过输出装载室离开装备,同时机械手也回到开始时刻的状态和位置。

   产能主要决定于晶圆的基本周期。晶圆生产周期又可分为l晶圆生产周期及批量(Lot)晶圆生产周期两种。1晶圆生产周期是指1片品圆从装载室投入集束型装各,到各加工模块加工完成后回到装载室所花费的时间总和。而批量晶圆生产周期是指一批量晶圆从进入装载室后,在各加工模块加工完毕回到装载室,直到一批量晶圆退出装载室所花费的时间总和。晶圆生产周期代表集束型装各中晶圆的流动速率,集束型装备最看重的是晶圆的产出率,也就是产能,而在整个公司来看是获得利润的能力。若晶圆生产周期较长,待加工晶圆数量也就会相对增加,造成后面的原料或半成品存放位置不足。而且因制造时间拉长,产品的质量也易受环境污染而降低良好率。定义1.3 如果一个可行的机械手活动序列使得产能最大,该活动序列称为集束型装各最优机械手活动序列。