在以上的例子中,所成的像虽然说不能够全部反应掩膜版的空间信息,但是可以看到, V62C518256CLL-70对比度还是很高的。对比度定义为 在上面的例子里,经过简单计算,可以得出空间像的对比度为100%。但是在实际光刻工艺当中,这种情况还是不多见的。我们使用的1.35数值孔径的光刻机是用来制作比?00nm小得多的图形,如100nm空问周期,又叫节距。那么,100nm是怎么做出来的呢?我们知道,根据式(753),它的各衍射级的衍射角度(正弦值)为:0、±1,93、±5.79、±9.65,而光 刻机的数值孔径只有1.35。不过,如图7.60所示,只要空间周期不小于/NA,使用斜人射的照明方式仍然可以收到两束衍射光。不过这里需要假设光栅的衍射级的角度正弦不随人射角的正弦变化(从式(7-33)的光栅公式引出),又叫做霍普金斯近似(Hopkinsapprc厕mation),如式(749)所示。