有了式(739)的结果,光刻机的成像的第一步完成了,将掩膜版被照射后发射出的衍射光的强度和角度计算出来了。也就是在图7.52中从掩膜版平面计算到了光瞳位置。V62C5181024LL-35在光瞳位置会发生两件事,一是,由于光瞳的大小限制,它不可能将无穷无尽的衍射和干涉光收进镜头里,一些大角度的衍射光将被滤去。二是,被镜头收人的衍射光被合并,形成光学像。以上的讨论方法比较适于纯相干照明方式,实际工作中遇到的照明一般为部分相干照明(后面会详细讨论),而且这种算法并不方便。下面介绍的方法是使用周期性边界条件,即假设光栅的个数为无穷大的计算方法。其实,我们可以看出,衍射和干涉的计算实际上就是对掩膜版的空间信息作一次傅里叶变换(Fouher trans±orm)。数学上我们知道,任何一个周期函数,如果满足以下两个Dirichlet条件(狄利克雷),就可以展开为傅里叶级数:

   (1)在一个周期内,存在有限个数值有限的间断点,如图7.55所示。

   (2)在一个周期内,存在有限个极大值和极小值。