要取得在相当宽广范围内的对比度,必须放弃一点极限分辨率。而且,为了获取高于NAn的频率, V6300ASP5B必须放弃一些小于NAn的空间频率。对

于相干度,一般有如下的定义。

   根据参考文献E29彐定义,当使用非相干扩展光源,光源的大小对应的在掩膜版平面上的相干长度等于系统的最小分辨长度时,在掩膜版上任意两点之间(当然要大于分辨长度),实际上是没有位相联

系的,也就是说这种照明方式是非相干的。在光刻机中,当使用科勒照明下,照明光束充满系统的最大数值孔径除以系统放大倍数时,照明为非相干。如:浸没式光刻机的数值孔径为1.35,由于放大率为,那么,在掩膜版平面的数值孔径为1.35/4=0.34。或者张角为19.7°。如果照明光束能够充满从垂直到19.7°的斜人射方向,那么照明条件为非相干的。任何小于此充满角度的照明方式为部分相干。照明相干度在光刻机上的实现方式如图7.63所示。

   那么如何解释图7.62中的结果呢?式(733)显示,衍射级与级之间的角度正弦值是固定的,为^/p,如果使用斜入射,当斜人射角达到最大时(瞄准镜头边缘,即对应最大数值孔径),透镜的有限孔径能够最大限度地接收衍射光,如图7.60所示。在非相干照明条件下,照明光充满整个镜头,所以包含了在镜头孔径最边缘的光线,而其衍射光与入射光的最小张角只要不大于2NA似,就可以让镜头同时收入两个衍射级(0级人射光和+1或者-1衍射级),干涉生成图样。所以,对于σ=1非相干光照明,系统的可分辨空间频率可以达到2NA似。而对于部分相干光,如σ=0.6,系统只能够分辨到1.6NA似。所以,对于部分相干光照明,系统的分辨率.