亚衍射散射条的工艺仿真效果
发布时间:2017/10/30 21:55:32 访问次数:592
图7.97是一组仿真的结果,显示了加上亚衍射散射条后,对焦深度显著提高了(大约从60nm到100nm),但是曝光能量宽裕度也减小了(2OOnm空问周期以上的大约从20%下降到16%)。而且孤立线条的掩膜版误差囚子也大约从1.0升到1,5。UC3842A所以,亚衍射散射条的应用能够大幅提高对焦深度,但是也要放弃一点对比度或者能量宽裕度。综上所述,发挥亚衍射散射条的作用,也需要配合离轴照明(如环形照明)一起使用。
那么,如何添加亚衍射散射条呢?当前,有两种方法:手△的和白动的。白动的方法又分为基于规则的和基于模型的。
图7.97是一组仿真的结果,显示了加上亚衍射散射条后,对焦深度显著提高了(大约从60nm到100nm),但是曝光能量宽裕度也减小了(2OOnm空问周期以上的大约从20%下降到16%)。而且孤立线条的掩膜版误差囚子也大约从1.0升到1,5。UC3842A所以,亚衍射散射条的应用能够大幅提高对焦深度,但是也要放弃一点对比度或者能量宽裕度。综上所述,发挥亚衍射散射条的作用,也需要配合离轴照明(如环形照明)一起使用。
那么,如何添加亚衍射散射条呢?当前,有两种方法:手△的和白动的。白动的方法又分为基于规则的和基于模型的。
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