两束光成像相比三束光成像具有更大的焦深,对于孤立的图形,由于进人光瞳的衍射级非常多,换句话说,UC3842其衍射谱是连续的,其焦深比密集图形要小。那么,如何提高孤立图形的焦深呢?在20世纪90年代末,Fung Chcn等人提出F使用亚衍射散射条(sub_resolutionassist features,SRAF)的方法来提高孤立图形的焦深ηΙ2,图7.96描述了常见的亚衍射散射条的效果。其原理是在孤立线条在光瞳L的连续衍射角分布L1加上密集图形的衍射级,将两束光成像焦深较大的效应对原先孤立线条的△艺窗口进行夹持,改善孤立线条的对焦深度。其实,我们可以将此情况看成是两个图形的效果的叠加。所以,加上亚衍射散射条后,焦深得到显著提高。不过,由于衍射光更加集中到密集的0级、1级或者-1级,原先孤立线条的密集衍射级数被淡化,空间像对比度会有所减小(也就是衍射级数由于受到密集散射条对0、±1级的倾斜,其他级数受到削弱,等效的衍射级变小了),也就是能量宽裕度会有所减小。