基于仿真模型的集束型装备建模
发布时间:2017/11/29 21:38:41 访问次数:386
随着计算机技术及现代仿真技术的发展,作为研究复杂系统的重要工具,仿真调 K9F1G08U0D-SCB0度变得越来越有意义。离散事件系统仿真方法能够用来描述加工晶圆的动态和随机特征。通过建立描述性的仿真模型,分析给定解的性能,进而对解进行改进,得出相应的解析式。对于较为复杂的晶圆流模式,通常采用数学模型,难以描述作业时间波动与滞留时间约束。 仿真方法能够分析、优化集束型装备的性能,如晶圆制造周期`生产效率及设备利用率等。另外,在改变晶圆的加工配方前,为降低决策风险,很有必要进行仿真。为让工程师们能够熟练掌握集束型装各,把复杂制造过程的Petri网变为直观的三维仿真模型,也具有重要的现实意义.
随着计算机技术及现代仿真技术的发展,作为研究复杂系统的重要工具,仿真调 K9F1G08U0D-SCB0度变得越来越有意义。离散事件系统仿真方法能够用来描述加工晶圆的动态和随机特征。通过建立描述性的仿真模型,分析给定解的性能,进而对解进行改进,得出相应的解析式。对于较为复杂的晶圆流模式,通常采用数学模型,难以描述作业时间波动与滞留时间约束。 仿真方法能够分析、优化集束型装备的性能,如晶圆制造周期`生产效率及设备利用率等。另外,在改变晶圆的加工配方前,为降低决策风险,很有必要进行仿真。为让工程师们能够熟练掌握集束型装各,把复杂制造过程的Petri网变为直观的三维仿真模型,也具有重要的现实意义.
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- 11-29基于仿真模型的集束型装备建模
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