在调度集束型装备时,必须考虑活动的时间因素,因此模型应能描述系统的活动时问。 K9F1G08U0B-PCB0

   在Pe网中,时间与库所和变迁是有联系的。

   由于所有的库所和变迁都代表着需要活动的时间量,故要将时间与库所和变迁联系起来。令%和乌分别表示机械手从加工模块(或真空锁)中卸载晶圆和向加工模块(真空锁)中载入晶圆所需要的时间。表示机械手载着一个晶圆从源加工模块移动到目的加工模

块所需要的时间。不失一般性。机械手空载从-个加工模块移动到另一个加工模块所需的时间,与机械手载有晶圆从一个加工模块移动到另一个加工模块的时间相等,即机械手空载移动和负载移动的时间相等且符合现实情况,或者说触发%所需的时间也是〃。%表示机械手在原地时所需时间为0。在重入过程中,每次晶圆到同一加工步骤时的机械手操作是相同的。因此,时间也一样相等。令n表示晶圆在中的加工时间。表示仅仅当它在加工模块n中停留时问超过单位时间才可触发‰。机械手在%和‰中的等待时间依赖于加工时n和系统的调度策略。

   分别表示在%和gi,中等待时间。因为库所‘、殇和变迁气只是用来模拟机械手的可用性,没有活动与它们相关,所以它们所需的时问为0。库所和变迁的符号和所需时间。连续的变迁 杨→‰→‰ 为一个交换过程,加工模块P`的加工不可中断,所以这个过程所需时间不等于α+〃+'。用庀表示机械手在加工模块``执行交换过程所需的时间。不失一般性,假设凡=龙。