本章参考文献[36,38]首先构造单臂集束型装备的面向资源Pctri网模型,分析具K8D1716UTC-PI07有滞留时间约束调度问题的系统可调度性,同时推导出一个分析性的调度算法,用来确定可调度系统的周期性调度方案。本章参考文献卩9,硐]主要的研究对象为双臂机械手集束型装各,分析的过程和思路与单臂集束型装备一致。在实际加工中,集束型装备实际加工过程的活动时间并不是确定值,它是在一定范围内的随机值,而活动时间的变化经常会导致晶圆滞留时间的波动,使得最初可行的调度方案变得不可行。针对这一特点,本章参考文献构造系统的Pc“i网模型并确定实时控制策略,对双臂集束型装备的晶圆滞留时间变化做了详细的分析,给出一个有效方法。应用该方法可以进行系统可调度性分析,以找 到优化的调度方案。