以下根据本章参考文献的成果,利用241节的有限容量Petri网介绍对集束型装备的建模过程。K8P6415UQB-PI4B

   对机械手的建模

   在集束型装备中,加工模块PM的活动是跟随在机械手活动之后的,所以对机械手的调度是研究的重点。机械手活动包括从加工模块PM中卸载晶圆,移动晶圆到下一个加工模块,将晶圆载入目的加工模块中,然后空载移动到下一加工模块,等待晶圆被加工完等一系列活动。注意晶圆的加工流程是确定的,当机械手从某一个加工模块卸载晶圆后,它必须移动到下一个指定的加工模块并载入晶圆到这个加工模块。令第0步表示从真空锁(输入/输出装载室)卸载晶圆,变迁岛丿包含3个变迁。第j步时机械手从PM中卸载晶圆;J表示机械手持着晶圆从第J步移动到第表示载入晶圆到PM执行第步。机械手活动的PN模型。

   当机械手持着晶圆到第丿步时,有可能PM因为没有空间而导致机械手不能将晶圆载入PM中,机械手要等一段时间,直到PM有空问将晶圆载入为止。用库所巧和圪表示在的情况下机械手的可用性。当巧或勹中有一个令牌(Token)时,表示有一机械手空闲;当珩和中都有令牌时,表示两机械手都空闲。因为两机械手不能同时完成同一动作,所以用变迁气来连接巧和勹,只有库所勹中无令牌、同时矸中有令牌时,可以使莎0触发。通过这种方式,机械手的活动被描述出来,同时也反映这个过程的特点。