俄歇电子:原子内T0518-007D层电子能级跃迁过程中释放出来的能量不是以X射线的形式释放而是用该能量将核外另一电子发射出去(或使空位层的外层电子发射出去),脱离原子变为二次电子,这个被电离出来的电子称为俄歇电子。因每一种原子都有自己特定的壳层能量,所以它们的俄歇电子能量也各有特征值,能量在50~1500eV范围内。俄歇电子是从试样表面极有限的几个原子层中发出的,所以俄歇电子信号适用于表层化学成分分析。

   吸收电子:人射电子对样品扫描时,除了发射工次电子和背散射电子等信息,一部分电子(在样品内部深处产生的不能逸出的二次电子和背散射电子)经多次非弹性散射,能量损失殆尽(假定样品有足够的厚度没有透射电子产生)被复合所吸收,成为吸收电流信号,这个信号在正常情况下通过载物台接地,若吸收电流用于向电流放大器提供电流,则被放大的信号便可用来产生主要依赖于被扫描区域电导率的信号,可用在分析样品上存在导电路径或在没有外部偏置电路的情况下确定样品表面上材料的电导率以及用来观察PN结的结区位置、形状和尺寸等的束感生电流像(ERIC)。