基于原子力显微镜的纳米探针技术,就是在传统的原子力显微镜基础上,添加由TC74VHC244FEL根探针和精密的电学测试机相连接所组成的电学测量系统。它利用原子力显微镜原理获得被检测样品的表m原子级的分辨图像,再通过计算机控制和计算把探针移动到我们所需要测量的位置,根据设定的测试参数获取样品的电学特性参数:

   基于原子力显微镜的纳米探针突出的优点是测量程序的白动化和快速的测量速度。由于系统主要是由计算机辅助控制・只需要相「f的指令和程序.便可以白动获得所需要的测试结果。但是原子力显微镜对于佯品丧面的平整度有着很高的要求,这就对样品制备要求严格。原子力显微镜在测蚩过程巾听显示的lkl像非实时图像,如果存在样品的抖动和偏移就会造成测量位置的偏差:另外基于原子力显微镜的纳米探针造价也非常昂贵,使用成本较高。另一种纳米探针系统是基于扫描电子显微镜(SEM)。不同于用光学显微镜作为观测设备的传统探针台.它是利用扫描电子显微镜作为观测设备。纳米探针平台使用的探针的针尖尺寸非常微小,通常可以达到50nm,因此可以用来测量非常微小的结构,而传统的探针针尖从0.6um~几微米不等,通常只能通过铝垫对芯片进行电学测试。基于扫描电子显微镜的纳米探针系统是把扫描电子显微镜的基座换成了一个由若十探针所构成的探针基座,基座上的探针与外界的电性测试机相连,组成了一个完整的测量系统。探针基座L的探针通过电动马达和压电陶瓷完成粗调和细调。按照对探针操作的自动化程度来分,基于扫描电子显微镜的纳米探针系统又可以分为手动、半白动。手动系统通常由1~6根探针所组成,而半自动系统有多达8根探针,可以完成更为复杂的测试,当然价格也更为昂贵。