LRM工艺气体和压力对沟槽和通孔底形状的影响
发布时间:2017/11/4 11:57:45 访问次数:1212
通常顶部圆弧相当于顶部线宽CD的收缩,已经证明了顶部圆弧形状最薄弱的点会导致VBD特性变差,如图8,44所示。M/OX1K821W同时,从缺少聚合物△艺得到的顶部圆弧,可能会带来更差的侧壁粗糙度。所有这些都表示LRM步骤也是一个控制VBD性能的关键点。比较小的侧壁粗糙度将带来更好的VBD特性。
最好的R(特性来自侧向刻蚀的形状(见图8.迮5),而最差的由底脚形状得到。然而,从可靠性的角度来看,无论是侧向刻蚀,还是底脚形状都不是所需要的。最大的挑战是如何得到最好的R‘特性,同时叉没有底脚或者是侧向刻蚀的形状。根据缺乏/富含聚合物和其均匀性的观点选择刻蚀气体是实现这一日标的关键。
通常顶部圆弧相当于顶部线宽CD的收缩,已经证明了顶部圆弧形状最薄弱的点会导致VBD特性变差,如图8,44所示。M/OX1K821W同时,从缺少聚合物△艺得到的顶部圆弧,可能会带来更差的侧壁粗糙度。所有这些都表示LRM步骤也是一个控制VBD性能的关键点。比较小的侧壁粗糙度将带来更好的VBD特性。
最好的R(特性来自侧向刻蚀的形状(见图8.迮5),而最差的由底脚形状得到。然而,从可靠性的角度来看,无论是侧向刻蚀,还是底脚形状都不是所需要的。最大的挑战是如何得到最好的R‘特性,同时叉没有底脚或者是侧向刻蚀的形状。根据缺乏/富含聚合物和其均匀性的观点选择刻蚀气体是实现这一日标的关键。
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