摘 要：本丈介绍了台湾微电子技术及产业发展状况，以此作为我们同行的借鉴。

关键词：台湾；微电子；技术；产业

7 台湾的GaAs加工线

GaAs市场被广泛认为是半导体技术发展最迅速的领地。2000年比1999年增长约60％，器件销售总额高于180亿美元。在无线通信和光电子以及LED发光产品需求不断增长的预测刺激下，该领域似乎就为2002年底的快速发展作好了准备。但是，GaAs领域却与半导体市场萧条一样出现了戏剧性地疲软现象，SiGe HBT技术的发展也给市场预测来了个釜底抽薪，使芯片制造商追求用低成本的CMOS技术生产通信器件，而不是用高成本的GaAs技术。

最近10年，许多公司已经筹建了GaAs加工线，想以此向大规模批量生产转化。台湾省已经成为GaAs加工线发展中心(见表6)。
      
      

急转直下的市场和SiGe和InP技术，制约了台湾GaAs工业的发展。为了避开竞争对手SiGe和InP技术，GaAs IC的设计和制造在不断地改进。虽然生产量减小，但也不能阻碍层出不穷的更新更好的设计成果。然而，GaAsIC的应用寿命周期往往较短，没有掌握好进入市场的时间就不能发挥很好的经济效益。

加工线抓住了这个可利用的因素，打时间差，在较短的周期时间内，必须采取多设计、小批量生产手段，使产品尽早投入市场，延长发挥经济效益的寿命周期。许多公司利用他们的设计和高生产率的Si生产线运作经验，借助大量的工艺设计成功地实现了这个目标。对于小批量GaAs生产线而言，虽然这种初期的投资往往显得太大，但从长远考虑，加工线的附加功能性、延展性和生产率的优越性就能发挥出来。

先进的制造设备不仅能容易进行工艺控制，而且也能容易改进工艺和精选工艺条件，以满足经常变化的设计要求。这些设备提供了可加工生产φ150mm基片的加工线能力，加工产量高，在短时间内能提供随时要求增加产量的产品。利用有效的工厂控制系统，如现场在线运行控制系统和信息管理系统，加工线能可靠地监控其产出量、改进电路成品率，降低材料消耗及相关成本。

不管市场千变万化，台湾GaAs加工线的开发和服务受Si加工线和TSMC和UMC两家公司加工线成功经验的启发，得到了有力的开发。1991年，Hexawave光子系统公司成为台岛建立的第一家GaAs加工线，在新竹科技工业园办了工厂。

七年以后，先进无线半导体公司(AWSC)在台南的南部城市建了厂。2001年，AWSC公司已成为台湾最大的GaAs加工线，每周生产φ100mm的圆片1200片。该公司2003年打算再建一个φ150mm的代加工新线。

1999年，WIN半导体公司在台湾建立了第一家φ150mm GaAs加工线。WIN公司在linkou的工厂每周生产约200片φ150mm的圆片，但该公司打算到2005年扩产到2000片／周。

台湾进入代加工市场最晚的公司是Transcom公司(总部在台南)。但它声称是岛内第一家提供PHEMT技术的公司。该公司现有的φ75mm和φ100mm的制造工厂，具有300片／周的生产能力，其中分为代加工产品和本公司自主产品。该公司希望提高该厂的产能，到2002年底达到700片／周以上。

随着GaAs器件市场的下滑，很可能会使一些公司的许多扩产计划延迟，或许不会实现。实际上，在竞争激烈的今天，似乎一些加工线会因经不住市场下滑的考验而被淘汰。而新一代加工线的工厂最近才开始生产，但尚未采用大规模制造方法。目前，他们的主要问题是资金，盼望来自美国和日本GaAs制造厂商的大量投资。在目前财政困难的情况下，这些“母”公司必须保证在这些加工线的地区和未来要有一个良好的市场。

大多数公司在筹建加工线时必须考虑两个问题：一是市场转变(产品适应市场)需要一到二年的时间。必须寻找资金投入少、产品更新快的设计和开发手段。二是大多数GaAs IC制造厂商的产品也将适时进入同样显露的市场。可见新器件的竞争将是相当激烈的。芯片厂商必须为器件增加特有的优势，以保证它与对手竞争时的优势。 总之，台湾为大批量生产GaAs IC而建立的GaAs加工线的发展趋势是以小批量生产，少量投资为特点。所建的Fab能发挥适应市场需求的优势。

8 台湾的主要IC制造公司

8．1 联合微电子公司(UMC)

UMC是台湾最老的IC生产厂，建于1980年，UMC在1982年开始提供Foundry服务，现在成为专业IC Foundry。作为服务的一部分，该公司通过国家互联网提供最新的标记化生产数据，允许用户接收安全可控的24小时在线服务，浏览交货计划和实时硅片加工状况以及工程信息等。 UMC公司在台南科技工业园投资180亿美元，兴建6条Fab。第一条设计能力为60000片／月的φ200mm生产线在1999年开始投产，全自动环境下设计规则为0．16μm—0．18μm。投资19．8亿美元。1999年，再开始建5条φ300mm的生产线，每1-2年建成一座，月产20000片，2007年前建成。UMC公司的Fab情况如表7所示。