根据集束型装备每个生产周期内加工的晶圆种类,调度问题可分为单流集束型装备调度问题和混流集束型装备调度问题。单流集束型装备是指每个生产周期内只有一种类型的晶圆进入和离开集束型装备。 NCP1252A相应的,混流集束型装备是指每个生产周期时间内,在集束型装备混合连续地生产R个不同类型的晶圆。此外,根据集束型装备每个生产周期内处理的晶圆个数,还可将单流集束型装备生产方式再分为1晶圆生产和乃晶圆生产,前者在每生产周期内只有1个晶圆进入和离开集束型装备,而后者在每个生产周期内有R个相同类型的晶圆进入和离开集束型装备,其中R≥2,相关介绍见1.5.1节。

   目前,已有文献主要集中在研究单流集束型装备的机械手搬运作业调度问题,采用的模型主要有数学规划法、事件图、Pctri网等[10~1刨。目前研究混流集束型装备调度问题的研究文献较少,主要因为不同类型晶圆有着不同的加工路线和约束条件,致使该调度问题 比己有文献研究的问题更加复杂。针对加工R=2种类型晶圆调度问题,最具有代表性的 是Lec等给出了加工R乇种类型晶圆的改进Pu11和Swap策略,但没有考虑滞留时间约束,并且该策略的局限是不能求解两种以上的不同类型晶圆的调度问题(l刀。针对R)2调度问题,周炳海等提出了基于时间约束集方法的逐级回溯启发式算法,但他们的算法都基于假定给定的晶圆加工顺序,仅对机械手搬运作业的顺序进行了优化。Jung等提出了基于Petri网模型转换事件图的混合整数规划模型及分支定界算法,但以Pe“i网为基础的模型和算法复杂,不能明确描述调度问题的约束条件,不适合实际生产的需求m,21]。本节在4.2节调度模型的基础上,进一步展开深入分析和研究,给出混流集束型装各调度问题的混合整数规划模型。