(l)加工模块之间任何存储设施,机械手必须运输走前一个晶圆后才能装载下一个晶圆,NCP1271D65R2G加工模块为单晶圆加工设备,每次仅能加工一片晶圆。

   (2)晶圆在加工模块的停留时间要满足滞留时间约束。

   (3)物料运输模块为双臂机械手,两机械手不能同时活动。

   (4)一个生产周期内一种类型的晶圆只有一个进入。

   注意在假设(3)中的双臂机械手与单臂机械手不同之处:双臂机械手的一个臂拿起了一个晶圆之后,另一个机械臂仍然可以去搬运其他晶圆,那么在某一时刻就会出现机械手的两只手臂都有晶圆的情况。对于一个双臂机械手来说,它的两个机械臂不能同时进行装载或者卸载晶圆的动作。当一个机械臂在进行装载或者卸载的动作时,另一个机械臂必须等待,而且这两个机械臂呈180°角放置,它们之间的角度不能改变。

    调度问题描述

    集束型装备由若干晶圆加工模块、双臂机械手和输人/输出装载室组成。R个不同类型的晶圆编号为1,2,…,R,依照配方首先从输入装载室进入,激光定位后依次通过加工模块1,2,…,Ⅳ的加工,最后从输出装载室冷却离开系统。

   生产管理采用批量加工的周期性生产方式,在系统达到稳态后,每个周期内有一批次(lot)R个不同类型晶圆进入系统,同时有另外―个批次晶圆完成加工离开生产系统,并且机械手在每个周期内执行固定的机械手搬运作业和加工模块加工作业。根据上述描述可知,相邻两个批次晶圆进入系统的时间间隔即为生产周期或基本周期或生产节拍。这类混流调度问题以最大化产能,即最小化生产周期为目标,目的是满足滞留时间约束的前提下,确定一个生产周期内多种类型晶圆的生产顺序和优化机械手搬运作业顺序。