另外,机械手在搬运晶圆过程中,还具有以下特点。

   (1)机械手每隔一个生产周期重复一组相同的机械手活动序列,每个周期中仅有一个晶圆进入, NCP1230D65R2G并且有一个晶圆离开装备。

   (2)在生产周期内,机械手在每个工序中所执行的卸载和装载活动仅发生一次。

   以上系统是一类典型循环加工的制造单元。制造单元重复一次相同状态的时间长度为生产周期,也就是生产节拍,直接决定着系统的产能和效率。这种循环式生产方式容易理解和实现,并且易于控制,因此在工业界得到广泛应用田。这类问题的调度和规划目标是

确定机械手活动序列(搬运作业)以使生产周期最小化,问题的时序约束条件(以下简称约束)包括如下。

   (1)机械手能力约束,同一时间内机械手只能搬运一个晶圆。

   (2)加工模块能力约束,机械手从加工模块卸载晶圆和装载晶圆到加工模块的活动受力口工时间限制。

   (3)并行模块约束,每周期只有一个加工模块参与机械手卸载和装载活动。

   (4)重入模块约束,机械手活动不能发生时序冲突。