多种类型晶圆混合加工是为了达到快速响应顾客需求和缓解行业竞争的目的,工业界将小批量、NCP1014AP065G多类型晶圆安排在同一批次内加工。混流调度是指按照周期性生产方法,调度系统在一个调度周期内合理安排有多种不同类型的晶圆进入和离开集束型装备。此类优化调度问题的核心就是有效统筹优化两个子问题:优化调度多种不同类型晶圆的加工顺序问题和机械手搬运作业顺序问题。在满足晶圆加工工艺的前提下,通过优化调度晶圆的加工顺序和机器人作业顺序,能够保证平准化和均衡化生产,从而在品种和数量上实混流加工,这样不但可以起到对市场小批量多品种需求的快速反应和满足功能,而且对于提高生产线整体效率和产品交付率、提升生产管理水平及降低生产成本等方面也至关重要囫。

   本章针对具有单臂机械手集束型装备的重入调度问题进行研究,分别对加工模块能力、机械手能力、重入模块等时序约束关系进行分析,给出了问题的混合整数规划模型;针对同时考虑晶圆加工排序和机械手搬运作业排序的混流调度问题,给出了问题的混合整数规划模型。