由于晶圆流模式和集束型装备的结构特征都不同于流水车间、作业车间,也不同P4SMA160CA于己有的机器人单元制造系统和抓钩系统,所以己有的调度方法不能用于集束型装各调度问题。本章根据集束型装备的结构特征、加工时间约束的运行特征对已有的调度方法进行了分类,指出其中的一些不足之处。其中的调度方法大多是以单臂机械手的Pu11策略和双臂机械手的swap策略为基础,都属于周期静态调度方法,其研究假设集束型装备只生产一种产品类型,而没有考虑在实际生产中越来越常见的多类型小批量的混流生产模式,即多种类型晶圆混合加工。混流生产模式更加复杂,要同时考虑不同工艺路线的晶圆在系统内的加工作业调度和机械手搬运作业调度。囚此,在借鉴经典生产统混流调度的相关理论和方法基础上,构建和提出关于集束型装备混流调度模型和方法,将是未来值得研究的问题。应急调度方法用于解决不确定环境下的动态调度问题,但目前仍缺乏对不确定环境下集束型装备动态调度问题进行全面深入研究,特别是关于临时加工晶圆、加工模块和物料搬运机械手发生故障等干扰发生时动态调度方法的研究,将是今后的重要研究方向。