调度必须考虑设各出现意外的情况,如临时晶圆加工、作业时间波动和加工设备出现故障等。A916CY-101M半导体生产线为了满足交货期要求,必须赋予这类紧急工件最高的优先级,并且优先加工而无须等待。其中,设备故障时有可能中断现有加工或存在并行加工模块而不中断生产过程,应根据不同情况给出合理的故障处理流程。

   日前,合理的意外情况处理方法采用在线调度方法,该方法能够适应混合晶圆加工情况,能够为每1个新进入的晶圆安排机械手的搬运路径。若出现加I模块故障,在线调度方法首先用死锁检测算法判断是否发生死锁,并采用死锁恢复算法解决死锁;然后确定系 统是否需要重调度,以便产生新的加工活动和机械手搬运活动(作业),使生产继续进行下去。另外,晶圆的加工次序是影响产能的因素之一,应该合理安排晶圆的加工次序,并避免死锁,因此死锁避免方法和优化晶圆加工次序是需要解决的关键技术。