高能电子射人固体样品,与原子核和核外电子发生弹性和非弹性散射过程,激发固 A506V3.1体样品产生各种物理信号,这些物理信号有背散射电子、工次电子、吸收电子、透射电子(如果样品很薄,电子可以穿透的话)、特征X射线、俄歇电子、阴极荧光、电子束感生电效应等。用不同的方式接收和处理这些物理信号,构成了电子显微分析的基础。扫描电子显微镜(Scanning Electron Microscope,SEM)就是通过侦测二次电子或背散射电子,实现高分辨率、高放大倍数和大景深的观测,非常适合于微小尺寸的测量。工次电子是被入射电子轰击出来的核外电子,通常能力只有几个电子伏特,来自于固体表面十几到几十埃范围内,在这样浅的表层里,入射电子与样品原子只发生次数很有限的散射,基本未向侧向扩展,因此叮以认为在样品上方检测到的二次电子主要来自于扫描束斑相当、深度为几十埃的样品体积内,二次电子信号源于被观测样品的表面,可以提供更高的空问分辨率,在CD SEM(criticaldimension)中广泛应用。