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虽然抓钩调度与集束型装备的调度很相似

发布时间:2017/11/26 14:28:46 访问次数:326

   虽然抓钩调度与集束型装备的调度很相似,相同点是它们都存在加工时间窗约束,一A915AY-6R8M般都加工同一产品,存在多抓钩或多机械手等相似之处,但集束型装各存在并行加工和重入加工。事实上,集束型装各采用并行模块进行加工在半导体制造工艺中是很常用的,而抓钩调度一般不存在并行加工站的问题。所以,对于存在并行模块的集束型装各的调度,也不能利用抓钩调度的算法。对于多抓钩调度问题,不仅要考虑机械手搬运作业,而且要考虑机械手服务区域和数量的优化问题,但在多集束型装备中,机械手服务的区域是固定的,缓冲模块数量是固定的,因此多抓钩调度方法并不适合多集束型装备。

   总之,车间调度只要考虑调度设备,不用考虑搬运时间和加工时间约束,也不存在加工零件违反滞留时间约束而出现产品质量的问题。相反,集束型装备可能由于晶圆违反滞留时间约束而导致晶圆质量出现问题,甚至报废。囚此,车间调度的算法不能用于集束型

装备的调度。机器人制造单元一般研究对象是单臂机械手,如2~3个加工站的调度,而集束型装各还要满足晶圆滞留时间约束以双臂机械手调度。所以,机器人制造单元的调度算法也不能直接应用到集束型装备的调度。抓钩调度与集束型装备的调度具有一定的相似′l±,如存在加工时间窗约束,但抓钩调度一般不存在并行模块的问题,且要考虑多抓钩服务区域的优化问题,所以抓钩调度的算法也不适合于具有并行模块和多机械手的集束型装备调度问题。

   虽然抓钩调度与集束型装备的调度很相似,相同点是它们都存在加工时间窗约束,一A915AY-6R8M般都加工同一产品,存在多抓钩或多机械手等相似之处,但集束型装各存在并行加工和重入加工。事实上,集束型装各采用并行模块进行加工在半导体制造工艺中是很常用的,而抓钩调度一般不存在并行加工站的问题。所以,对于存在并行模块的集束型装各的调度,也不能利用抓钩调度的算法。对于多抓钩调度问题,不仅要考虑机械手搬运作业,而且要考虑机械手服务区域和数量的优化问题,但在多集束型装备中,机械手服务的区域是固定的,缓冲模块数量是固定的,因此多抓钩调度方法并不适合多集束型装备。

   总之,车间调度只要考虑调度设备,不用考虑搬运时间和加工时间约束,也不存在加工零件违反滞留时间约束而出现产品质量的问题。相反,集束型装备可能由于晶圆违反滞留时间约束而导致晶圆质量出现问题,甚至报废。囚此,车间调度的算法不能用于集束型

装备的调度。机器人制造单元一般研究对象是单臂机械手,如2~3个加工站的调度,而集束型装各还要满足晶圆滞留时间约束以双臂机械手调度。所以,机器人制造单元的调度算法也不能直接应用到集束型装备的调度。抓钩调度与集束型装备的调度具有一定的相似′l±,如存在加工时间窗约束,但抓钩调度一般不存在并行模块的问题,且要考虑多抓钩服务区域的优化问题,所以抓钩调度的算法也不适合于具有并行模块和多机械手的集束型装备调度问题。

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