基本概念
发布时间:2017/11/26 14:30:30 访问次数:375
在集束型装备加工晶圆的过程中,机械手把晶圆按一定顺序运输到一些加工模块上加工, A915BY-100M机械手和加工模块是被晶圆竟争使用的有限资源,在某段给定的时间内需决定资源分配给哪个任务,这个决策过程就是调度。
机械手搬运作业表示为机械手活动序列二元组万表示第个机械手活动ACη在一个周期中的相对起始时刻,用s=(ACη,乃)表示第乃个周期中活动ACη起始时刻的集合。其中,机械手活动包括如下。
(I)从加工模块PM`移动到PM。
(2)从PM卸载晶圆。
在集束型装备加工晶圆的过程中,机械手把晶圆按一定顺序运输到一些加工模块上加工, A915BY-100M机械手和加工模块是被晶圆竟争使用的有限资源,在某段给定的时间内需决定资源分配给哪个任务,这个决策过程就是调度。
机械手搬运作业表示为机械手活动序列二元组万表示第个机械手活动ACη在一个周期中的相对起始时刻,用s=(ACη,乃)表示第乃个周期中活动ACη起始时刻的集合。其中,机械手活动包括如下。
(I)从加工模块PM`移动到PM。
(2)从PM卸载晶圆。
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