除了与人射能量有关外, T048-2DCR还与二次电子束与试样表面法向夹角有关,三者之间满足以下关系。可见,人射电子束与试样夹角越大,二次电子产额也越大。这是因为随汐角的增加人射电子束在样品表层范围内运动的总轨迹增长,引起价电子电离的机会增多,

产生二次电子数量就增加;其次是随着汐角增大,入射电子束作用体积更靠近表面层,作用体积内产生的大量自由电子离开表层的机会增多,从而二次电子的产额增大。

   二次电子像衬度:电子像的明暗程度取决于电子束的强弱,当两个区域中的电子强度不同时将出现图像的明暗差异,这种差异就是衬度c影响二次电子像衬度的因素较多,主要有表面凹凸引起的形貌衬度(质量衬度).样品表面电位差引起的电压衬度(VC),原子序数/不同材料差别引起的成分衬度。通常.二次电子对原子序数的变化不敏感。

   背散射电子:被固体样品原子反弹回来的一部分人射电子,它来自样品表层几百纳米的深度范围,其能量大大高于二次电子能量,所以背散射电子图像的空间分辨率比二次电子信号差。背散射电子包括弹性背散射电子和非弹性背散射电子,弹性背散射电子是指被样品中原子核反弹回来的,散射角大于90°的那些入射电子,其能量基本上没有变化(能量为数千到数万电子伏),弹性背散射电子能量近似于入射电子能量;非弹性背散射电子是人射电子和核外电子撞产生的,不仅能量变化,而且方向也发生变化,非弹性背散射电

子的能量范围很宽,从数十电子伏到数千电子伏。从数量上看,弹性背散射电子远比非弹性背散射电子所占的份额多。对平整的样品表面,背散射电子产额随原子序数的增加丽增加,不仅能用作形貌分析,也可用来显示原子序数衬度。人射电子束与固体样品作用产生物理信号的能量和数目如图14.24所示。