如8.2.1节所述,基于基本原理所建立的等离子刻蚀建模涉及高频、高强度电场内的连续性、 VP101X12BQC-2动量平衡和能量平衡等方程。对一个特定反应器的实际模拟,所需要的求解时问在数量级L是一个单独的操作条件大约半个小时,这对于可能需要实时反馈的I艺控制来说速度慢得无法接受。此外,缺乏对日标材料和刻蚀气体复杂相互作用的基本了解,往往会误导 模拟结果。另一方面,虽然经验模型纯粹地依赖于实验数据,缺乏深刻的理解,并被限制在其可用的数据范围内,但可能更容易接收用在实际制造中。所以在这两方面做一下折中是必要的。

   经验模型,也被称作黑箱模型,在很大程度上忽视基本的物理过程,仅从实际过程行为的角度来将问题参数化。利用测量过程的输入和输出,来确定一个输出到输人的数学模型。参数的估算被分为线性和非线性部分,二者都是很广泛的研究课题。一个简要的总结列于表8.1中。()LS是最简单且被最广泛使用的,它假设输人没有干扰,如果违背了这一条,模型的预测可能变差。R1冫S防止了OI'S的共线性问题,但仍假定无干扰输入。PCR第一个采用了主成分分析法(PCA)消除F共线性,在正交的主成分得分与负载中获取数据,提取出的主成分可能会出现在与输出空间不一致的子空间中,最终结束在一个不准确的模型预期L。PI'S用改变输人变量,使其与输出空问关联的方法克服了这一缺点。CR方法可以用到OLWPCR/PI'S中去,常常可以改善模型的精度。所有⒈述的线性方法只能在一个狭窄范围内得到所需的性能。像干法刻蚀这样本身高度复杂的工艺过程的验证,必须依靠非线性方法,神经网络[盯(NN)已经显示出在这一领域具有卓越的能力。