在GaN基LED芯片制造工艺过程中,需要实时对产线物料、工艺、机台、环境等进行检验。MMA1200EG进行实时检验的目的主要有以下几点:

   ①保证产品的品质,如各项光电参数、外观及其他物理特性等;

   ②对产线工艺进行实时监控,便于维护产线工艺稳定;

   ③及时发现各类异常,避免发生异常后还往后续工序作业,造成不必要的成本浪费。GaN基LED芯片制造过程工序较为复杂,涉及的物料繁多,对各种类型的物料,其检验的方式也不一样。对于产线常用到并且使用量较大的物料,如各种酸碱溶液、显影液、去胶溶液、蓝白膜、离型纸、各种光刻胶、去蜡液、酒精、丙酮、异丙醇、ITo锭、各种金属蒸发源颗粒、电子束灯丝、晶振片,等等,除了查看其生产日期和保质期外,一般按照其生产批次进行产线试用的方式,只有试用合格的物料才能被产线批量使用;对于光罩等这样的关键物料,需要对光罩上的图形尺寸进行精细测量,判定合格后才能被产线采用;对于C12、SH4(或者siClH3等)、Bα3、N2、02、s凡、CFo、N20(或者N202等)等特种气体,则需要定时请专门的检验部门对其纯度进行检验。