对产线工艺稳定的检验包含光电参数方面和外观等方面。检验的方式是借助一些辅助生产的检测设备和工具,MMA1210EG运用统计过程控制(statistical PI・ocess Control,sPC)等方法,对生产过程中的各个关键参数进行监控、分析、评价。在GaN基LED芯片的生产过程中,需要监控检验的参数、所需要的设备,以及量测方法和原理。

   对设备的检验通常也叫点检,对生产设备的点检包含日点检、周点检、月点检等,就是为了保证设备能持续为生产服务而做的对设备的检查。有些设备需要定期做维护,如清洁、保养(包含ICP、PECVD设备的定期清腔,ITo和金属蒸镀机定期清洁和更换衬板,

合金炉管的定期清洁)等;有些设备需要定期做易耗件的更换,如电子枪灯丝、离子源灯丝、曝光机的曝光灯光源(一般是汞灯)、ITo蒸镀机的加热灯管、防镀玻璃等;常规的检查可以防止异常的发生,及早发现不正常工作的设备,可以大大提高生产的顺畅性。