Herscy系数与摩擦系数及抛光液混合膜的关系,从中可得到随着Hers叩系数的增加,MLV-L01D摩擦系数与抛光液混合膜有明显的变化趋势。首先是抛光垫和晶片直接作用,此时摩擦系数很大,抛光液混合膜几乎不存在,抛光主要以机械作用为主,接着是摩擦系数变小,抛光液混合膜作用变大,形成化学和机械共同作用。汪海波等人[1习研究得到Hcrscy系数为γ时抛光效果最好。

    摩擦系数和抛光液混合膜随Hcrscy系数变化的关系

目前生产用的蓝宝石抛光液一般呈碱性,其pH值对抛光速率有很大影响。随着抛光液pH值的增加,抛光速率增加。抛光压力可增加晶片与抛光垫之间的摩擦力,通常在其他条件都不变的情况下,抛光速率随压力的提高而加快。这其中的原因有几个方面:一方面是抛光压力增大导致摩擦力增加,抛光颗粒对晶片表面的碰撞加强,增强了系统的机械作用;另一方面摩擦力的增加也使系统的温度升高,化学反应速率加快,增强了系统的化学作用。压力过大会导致蓝宝石表面出现缺陷、碎裂、产生腐蚀坑等问题。抛光液流量也是抛光过程中关键的参数,抛光液流量增大,增加了系统内的磨料和化学试的流动速度,不但使单位时间内与蓝宝石晶片反应的化学试剂的分子数增多,增强了化学作用,并且单位时间内进入系统的磨料数增加,增加了系统的机械作用,同时也使反应产物能够及时排除,加快了系统内的物质交换。但是过大的抛光液流量也是不可取的,一方面成本增大,另一方面过大的流量会减少参与机械磨削的有效粒子数,也会使系统的温度降低,减慢了化学作用。