净化间工作人员是最大的污染源之一。当一个BP3316D人以每小时两英里的速度走动时,他每分钟会释放高达五百万个颗粒,这些颗粒来自坏死的头发和脱落的皮肤。其他的颗粒源还有喷发胶、化妆品、染发和暴露的衣服。唯一使工作人员适于净化间工作的可行办法是把人员完全包裹起来,而且净化间工作人员的净化服材料因洁净度的要求不同而不同。服饰材料应不易产生脱落,并且含有导电的纤维以释放静电。还要权衡材料的过滤能力与操作员穿戴的舒适度。净化间的设计和操作过程都必须防止外界污染的入侵。有9种控制外界污染的技术,分别是粘着地板垫、更衣区、空气压力、空气淋浴器、维修区、双层门进出通道、静电控制、净鞋器、手套清洗器。

   扫描电镜是用聚焦得很细的电子束照射被检测的样品表面,用X射线能谱仪或波谱仪测量电子与样品相互作用所产生的特征X射线的波长与强度,从而对微小区域所含元素进行定性或定量分析,并可以用二次电子或背散射电子等进行形貌观察,是现代固体材料显微分析(微区成分、形貌和结构分析)的最有用仪器之一, 可获得材料和器件芯片失效的物理和化学根源。