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影响Foundγ线质量与可靠性的管理要素

发布时间:2016/6/27 22:27:43 访问次数:558

    影响Foundry线质量与可靠性的管理要素有净化间的温湿度控制、设备校准与维护、BP3315人员引起的污染预防、扫描电镜检查及能谱分析、内部目检、生产工艺的sPC控制等。

   净化间内的温、湿度应符合下列规定:满足生产工艺要求,生产工艺无温、湿度要求时,净化间的温度为⒛~26℃,湿度小于70%,人员净化间和生活间的温度为16~28℃。净化间内应保证一定的新鲜空气量,其数值应取下列风量中的最大值:乱流净化间送风量的10%~30%,层流净化间总送风量的2%~4%,补偿室内排风和保持室内正压值所需的新鲜空气量,保证室内每人每小时的新鲜空气量不小

于40m3。仪器设备应定期进行计量。对所有计量合格的设各实行标志化管理,根据证书的结果分别贴上统一印制的表明设备所处校准状态的标志,包括设各编号、检测日期、有效日期、检测单位。

无论什么原因,若设备脱离了直接控制,设备管理员应确保该设备在使用前对其功能和校准状态进行核查并能显示合格结果。对使用频度较高和经常流动使用的仪器设备均应实施两次校准之间的期间核查。

    影响Foundry线质量与可靠性的管理要素有净化间的温湿度控制、设备校准与维护、BP3315人员引起的污染预防、扫描电镜检查及能谱分析、内部目检、生产工艺的sPC控制等。

   净化间内的温、湿度应符合下列规定:满足生产工艺要求,生产工艺无温、湿度要求时,净化间的温度为⒛~26℃,湿度小于70%,人员净化间和生活间的温度为16~28℃。净化间内应保证一定的新鲜空气量,其数值应取下列风量中的最大值:乱流净化间送风量的10%~30%,层流净化间总送风量的2%~4%,补偿室内排风和保持室内正压值所需的新鲜空气量,保证室内每人每小时的新鲜空气量不小

于40m3。仪器设备应定期进行计量。对所有计量合格的设各实行标志化管理,根据证书的结果分别贴上统一印制的表明设备所处校准状态的标志,包括设各编号、检测日期、有效日期、检测单位。

无论什么原因,若设备脱离了直接控制,设备管理员应确保该设备在使用前对其功能和校准状态进行核查并能显示合格结果。对使用频度较高和经常流动使用的仪器设备均应实施两次校准之间的期间核查。

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