假设恒定电压应力条件下和斜坡电压应力条件下产生击穿时的电荷量是相同的, BP3102于是恒定电压下的击穿时间与斜坡击穿电压之间通过的电荷量相等,可以表示如下:

     r:D是击穿时间(s);s是恒定电压(V):吒:D是斜坡击穿电压(V);R是斜坡上升速率(V/s);B是隧穿电流的指数因子(舛0×1JWcm);Jf是空穴产生率的指数因子(80×1JV/cm);r。x是栅氧化层的厚度(cm)。 图77 CMOs工艺栅电容的斜坡电压击穿图形

对于斜坡上升速率是5MW(cm・s)时的测量数据,击穿电流设置在10A/cm2,即12mA时,斜坡步进时间是0.0046s,斜坡步进电压是0.05V,栅氧化层的厚度是17.5nm,于是计算出5V恒定工作电压下的寿命时间如表7.5所示。