双层进出通道。维修区CY6116A-55DMB还可作为次洁净室来储存物料和供给,它们通过双层进出通道进入洁净室,这可保持洁净室的洁净度。进出通道可以是一个双层门的盒子,或者是供给正压过滤空气,并有防止进出门同时打开的互锁装置。通常进出通道装有高效颗粒收集(Ⅲgh Efflciency Particle Amass,HEPA)过滤器,所有进入洁净室的物品与设备都须在进入前经过净化处理。空气压力控制系统。严格防止空气污染的厂房在设计方案上要平衡超净间、更衣间和厂区的空气压力。通常超净间的空气压力最高,更衣间次之,厂区和走廊最低。这样当超净间的门打开时,超净间相对高的空气压力可以防止空气中的灰尘进入。净鞋器和手套清洗器。用净鞋器去除鞋套和鞋侧的灰尘。用手套清洗器清洗手套并烘干。

   防静电设施。静电会吸附空气和工作服中的尘埃,容易影响晶圆上高密度的集成电路的制造和性能。静电产生于两种不同静电势的材料接触或摩擦,带过剩负电荷的原子被相邻的带正电荷的原子吸引,这种由吸引产生的电流泄放电压可以高达几万伏。