比如铝膜，已不能通过IRF3205PBF光学技术测景。并且对于铝膜和其他薄的导体膜，四探针测试仪测厚方法已不够精确了。在这砦情况下，一种机械移动探针的仪器被广泛应用（见图14. 10），、这一方法需要去除一部分薄膜，并在测试晶圆表面产生一个台阶。．它一般通过光刻和刻蚀来完成，其样品被放在绕轴旋转的探针工作台上并进行调平。

   图14. 10台阶高度测量

   调平之后，测量探针缓慢下降至晶圆表面并接触，然后工作台在探针下面慢慢移动。随着探针跨过台阶，其物理位置已发生变化。同时与探针相连的感应器能够产生一个电信号并以此来反映探针的垂直位置。这个信号将被放大并传输到x-y坐标记录仪中。

   当调平的晶圆在探针下移动时，如果它并不是在垂直方向移动，也就没有信号产生，在x-y坐标图上其轨迹便是一条直线。当探针接触到表面台阶时，其（垂直）位置发生变化并引起输出信号的变化，这一变化将通过x-y图中的曲线轨迹很明显地表示出来。，这一位置变化与台阶的高度紧密相关，它能够直接从标准的戈-y图中读出。精度与针尖的材料和直径相关。用在20—50 nm范围内金刚石针尖，可以测量纳米范围的表面台阶（见图14. 11）。