椭偏仪是一个应用激光光源，工作原理与分光光度计截然不同的膜厚度测量仪器。IRF3205激光光源是极化光源。极化是指所有光束都在同一平面七传播的一种波。极化可以通过观察手电筒的光束想象出来。对于一个普通的光束，光线通过很多平面进入我们的眼睛，就像带有很多羽毛的箭一样。而极化的光束的所有光线都在同一平面上，或者说就像只有一根羽毛的箭一样（见图14.9）。

   在椭偏仪中，极化了的光束直接以一定的角度入射到有氧化层的晶圆表面。光束进入到透明膜内，并且被反射性的晶圆表面反射回来，在光线通过薄膜的通路中，光束平面的角度已经发生_r旋转。而光束所在平面旋转的角度大小取决于膜厚度和晶圆表面的折射系数。仪器上的一个检测器会测量偏转角度，并且在线计算机会计算出膜厚度与折射系数。

   椭偏仪被用来对薄膜层( 50~1200 A)的膜厚度与折射系数进行测量，其准确性无与伦比，并且它可用于多层膜的测量，，加入多视角、多光波源、小光斑的选项使得它的能力得到更多扩展。

   小于so A的薄膜可用光环一氧化物一半导体(COS)的技术

进行测量。