定义PN结
发布时间:2015/11/6 19:31:27 访问次数:432
学习完本章后，你AD7548KP应该能够：
1．定义PN结。
2．画出完整的扩散工艺流程图。
3．列举用在硅技术中的3种最常用掺杂剂。
4．列举3种淀积源。
5．画出淀积和推进工艺的典型杂质浓度与推进的关系曲线。
6．列举离子注入机的主要部件。
7．描述离子注入的原理。
8．比较扩散与离子注入工艺的优势和劣势。
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5．画出淀积和推进工艺的典型杂质浓度与推进的关系曲线。
6．列举离子注入机的主要部件。
7．描述离子注入的原理。
8．比较扩散与离子注入工艺的优势和劣势。
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