动态旋转喷洒
发布时间:2015/10/31 19:13:27 访问次数:609
真窒吸盘（被称为“头”）、1台电机，1个转速计和1个用来连接真空的接口。每个头EL5160IWZ-T7用一个捕获杯包围着，用来收集剩余的光刻胶，并且把那些光刻胶输送到一个收集容器中。捕获杯也是用来预防晶圆加速旋转时把光刻胶从晶圆表面甩走的。这个工艺是从用氮气枪来去除微粒开始的。晶圆被用镊子或是真空吸笔固定在探头上，吸盘的真空同时也被打开。接着HMDS从注射器或是压瓶中喷洒到晶圆表面，晶圆同时也在旋转和烘干。最后，光刻胶水洼从另外的注射器或是压瓶中喷洒到晶圆表面。大多数在手工旋转器上进行的涂胶工艺使用的是静态喷洒方法。
真窒吸盘（被称为“头”）、1台电机，1个转速计和1个用来连接真空的接口。每个头EL5160IWZ-T7用一个捕获杯包围着，用来收集剩余的光刻胶，并且把那些光刻胶输送到一个收集容器中。捕获杯也是用来预防晶圆加速旋转时把光刻胶从晶圆表面甩走的。这个工艺是从用氮气枪来去除微粒开始的。晶圆被用镊子或是真空吸笔固定在探头上，吸盘的真空同时也被打开。接着HMDS从注射器或是压瓶中喷洒到晶圆表面，晶圆同时也在旋转和烘干。最后，光刻胶水洼从另外的注射器或是压瓶中喷洒到晶圆表面。大多数在手工旋转器上进行的涂胶工艺使用的是静态喷洒方法。
相关技术资料- 10-31动态旋转喷洒
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