在掩模版不透明的线条被大面积亮区包围的地方，难以实现好的分辨率。 NCP304LSQ43T1来自不透明的线条周围大量的辐射趋于使光刻胶层的线条尺寸收缩（见图10. 13），这是因为图形周围边缘曝光射线的衍射现象。这种问题被称为邻近效应( proximity effect)。

   另一个反差效应被称为主体反差( subject  contrast)（见图10. 14）。这种情况发生在当一些曝光辐射穿透掩模版上的不透明区，或晶圆表面反射到光刻胶中时。结果是在显影步骤后，部分曝光区域留下畸变的图形。这种在采用负胶时比采用正胶有更多的问题。图形改变还来自于衍射效应（见图10. 15）和光的散射（见图10. 16）。